近日，清华大学微电子重点实验室完成设备升级，皓天鑫科研级高精度恒温恒湿试验箱正式完成安装调试并投入使用，专项服务于半导体芯片、封装器件、晶圆材料湿热可靠性验证工作，补齐实验室精密环境模拟测试硬件短板，为前沿半导体研发与人才培养筑牢硬件支撑。
半导体器件结构精密，封装胶体、金属线路、基板极易受湿热环境侵蚀，高温高湿易引发金属迁移、绝缘层劣化、封装分层漏电等失效问题，双 85 稳态湿热测试是 JEDEC 标准规定的核心可靠性验证项目，稳定可控的温湿环境是获取精准试验数据的基础。此前实验室原有设备温湿度均匀性不足，难以满足长周期、多批次芯片同步对照试验需求，制约半导体材料、车规级芯片等课题研发进度。校方经过多轮性能比对、样机实测与技术评审，综合设备控温精度、连续运行稳定性、科研适配性与售后保障，选定皓天鑫恒温恒湿系列设备。
本次入驻的皓天鑫恒温恒湿箱专为高校半导体科研场景定制，温控区间覆盖 - 40℃~150℃，湿度可调范围 10%~98% RH，温度波动≤±0.3℃、湿度偏差控制在 ±1% RH 以内，全域温场均匀稳定，匹配 JESD22、GB/T2423 等国内外湿热测试标准。设备搭载自适应 PID 智能调温调湿系统，支持数百组自定义交变温湿程序全自动运行，304 不锈钢耐腐蚀内胆适配芯片、PCB、晶圆等精密样品测试，预留测试接线孔可实现带电偏压同步试验，支持 7×24 小时不间断长期试验，试验数据自动存储、全程可溯源，大幅降低人工值守成本。
实验室科研团队表示，该设备可精准模拟沿海高湿、车载交变湿热等复杂工况，高效开展芯片长期湿热老化、封装防潮性能、半导体新材料耐候性等试验，快速暴露器件隐性工艺缺陷，为芯片封装工艺优化、新型半导体材料机理研究提供可靠数据支撑。
此次校企合作落地，是皓天鑫深耕高校科研仪器领域的重要成果。未来皓天鑫将持续依托环境测试技术优势，持续为清华大学及全国各大高校、科研院所提供定制化可靠性测试解决方案，以精密试验装备助力国内半导体产业自主创新发展，打通实验室技术成果产业化转化通道。
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